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集成電路工藝設計范文第1篇

（陜西水利水電工程集團有限公司，渭南714000）

摘要院筆者將該道路工程路面設計分為兩個部分進行設計。本次設計道路工程的起點為外環西路，是已嚴重破壞的瀝青路面，筆者從該情況出發，提出對該路段采用瀝青熱再生技術進行重新翻修使用，而非直接廢棄；農田路面則進行傳統的路面設計。

關鍵詞 院道路工程；設計；熱再生

中圖分類號院U41 文獻標識碼院A 文章編號院1006-4311（2015）27-0109-03

0 引言

有資料顯示，我國每年約有12%的瀝青路面需要翻修，廢氣量達到每年220伊104t，并且以每年20%的速度在增長，如果對這些廢棄物料不加以合理利用的話，既會浪費大量的瀝青砂石等物料，同時又會引起嚴重的環境污染。瀝青路面現場熱再生技術是將需要翻修的舊瀝青路面進行處理，無需廢棄，再生使用。國外在上世紀四十年代就開始了對這種新技術的研究，并逐漸納入使用，而我國是在近幾十年才開始將該技術逐漸應用到工程實踐中。該技術在本工程中也得到了運用。

1 工程概況

閻良區屬暖溫帶半干旱大陸性季風氣候，四季干、濕、冷、暖分明，年均氣溫為13.1益，極端最高氣溫41.9益，極端最低氣溫-17益，土壤最大凍深0.45m。年平均降水量530mm，多集中在在7、8、9 三月，夏季多雷雨，冬春兩季較干旱。

本次設計會展一路擬建場地位于石川河一級階地。石川河是閻良區境內最大的河流，為渭河的一級支流，道路東南約3km 處有石川河直流———清河流過。該區域地表徑流穩定，水量充足，含泥沙較少，水源補給主要為大氣降水。道路范圍地層主要由耕土、填土和黃土狀土等巖石組成。地下水埋深約為8.5~12.3m，相應水位標高為372.46~370.50m，地下水類型屬孔隙潛水，由于其埋深較深，可不考慮對路基的影響。根據地質勘察報告，道路擬建場地為濕陷性黃土場地，濕陷等級為玉級（輕微）耀域級（中等）。

本次設計道路工程起為外環西路，其現狀為一條鄉村道路，寬3耀4m，瀝青路面，路面已嚴重破壞，由東向西道路沿線均為農田，在樁號K0+055 和K0+453 處分別有一條灌溉渠穿過。道路終點處與已建成的創新西路相接。道路沿線整體地勢很平坦，最大高差為1.5m。道路沿線除有兩條灌溉渠和少量井、電線桿需要拆除外，再無其他管線、桿線和建筑物需拆遷。

2 路基設計要點

2.1 填方設計

工程道路沿線場地均為農田，路基施工嚴禁采用生活垃圾、腐殖質土和其他不符要求的材料進行填方后施工。鑒于路基填方高度較小，應考慮將路基表層40cm 范圍內的腐殖質土及其他雜物清除，并用優質黃土換填。路堤基底為松土時，應作填前壓實處理。路基范圍內樹木遷移后，路基深度1.5m 范圍內的樹根必須進行清除，并按照規范要求分層回填壓實，對于路基范圍內的水井、洞穴等，修筑路基之前必須采用符合規范要求的砂礫填筑并夯實。道路沿線的灌溉渠按廢棄處理，路基施工時需將水渠內污泥全部挖出后用素土回填壓實處理。根據地質勘察報告，道路場地為非自重濕陷性黃土場地，濕陷等級為玉級（輕微）耀域級（中等）。為了消除土基的濕陷性，保證路基穩定，對于濕陷等級為玉級的路段（K0+140耀K1+235.3），施工時一定要嚴格控制進行碾壓處理；對于濕陷等級為域級的路段（K0+000耀K1+140），機動車道范圍內表面腐蝕土消除之后，再將原地面土基向下翻30cm，并摻和6%的生石灰拌合碾壓處理。

2.2 壓實度設計

為保證路基穩定，路基壓實必須引起高度重視，壓實度（重型壓實）必須符合表1 的規定。

車行道路基頂面回彈模量應躍30MPa；人行道路基采用輕型壓實標準，壓實度逸95%；土路肩采用輕型壓實標準，壓實度逸93%。

2.3 摻生石灰處理設計

由于本工程主要處于農田段，工程范圍內很可能存在含水量較大的路基土，在經過充分晾曬而依然潮濕的路段，采用摻生石灰處理（僅限車行道路基）。采用摻灰處理時處理厚度及摻灰量可參考表2、表3，發生工程量則以現場計量為準。

2.4 施工要點

石灰粉應攤鋪均勻，以保證石灰土拌和均勻，在素土路床上按照每平方米打上方格，計算用灰量并均勻攤鋪。生石灰處理濕軟土基，要用拌和機拌合兩遍，拌合完畢之后及時進行找平處理，生石灰與土拌合后需經3h 后在上碾壓實，碾壓時先穩壓后追密，先輕碾后重碾，應做到當天鋪灰當天成活。

就地加灰的第一層灰土處理層，允許出現輕微軟彈推移，碾壓要適度。第二層壓實允許個別地方出現輕微軟彈，不允許過量碾壓，以免出現翻漿。

人行道宜根據施工季節選擇采用晾曬等辦法進行處理，暫不設計其他處理措施。新老路基銜接處，應在老路基邊坡上開挖臺階，臺階寬度應逸1m。

3 路面設計要點

3.1 瀝青路面現場熱再生

由于本次設計道路工程起為外環西路，其現狀為一條鄉村道路，寬3耀4m，瀝青路面，路面已嚴重破壞。為了節約瀝青與砂石材料，可以考慮針對該路段采用瀝青熱再生技術進行翻修，就地加熱舊路面、耙松、收集舊料，根據路面破損情況適當增加新拌瀝青混合料與再生劑進行機內熱攪拌，隨即攤鋪、熨平和碾壓。設計流程圖如圖2。

3.2 其余路面設計

車行道路面設計以雙輪組單軸載100kN（BZZ-100）為標準軸載。路面結構采用瀝青路面，設計年限為15 年。

3.2.1 機動車道路面結構組成

上面層：5cm 細粒式瀝青混凝土（AC-13）；

乳化瀝青粘層油0.3kg/m2；

中面層：7cm 中粒式瀝青混凝土（AC-20）（添加0.4%抗車轍劑）；

乳化瀝青稀漿封層0.5cm 和透油層1kg/m2；

基層：20cm 二灰碎石（重量比8:17:75）；

底基層：30cm 石灰土（石灰含量10%重量比）；

總厚度62.5cm。

3.2.2 非機動車道路面結構組成

面層：5cm 細粒式瀝青混凝土（AC-13）；

透油層1kg/m2；

基層：20cm 二灰碎石（重量比8:17:75）；

底基層：20cm 石灰土（石灰含量10%重量比）；

總厚度45cm。

瀝青采用90 號重焦瀝青，質量必須滿足相關規范要求。

路面抗滑標準：車行道路面竣工驗收擺值逸45，構造深度TD 為0.2~0.4mm，石料磨光值PSV逸35；機動車到了表設計彎沉值Ls=32.1（1/100mm），竣工驗收彎沉值：瀝青上面層頂面Ls臆27.6（1/100mm），路床頂面基層頂面Ls臆248.4（1/100mm）。

二灰碎石7d 抗壓強度逸0.7MPa，石灰土7d 抗壓強度逸0.6MPa。

壓實度要求：瀝青砼面層逸95%，基層二灰碎石逸97%，底基層石灰土逸95%。

3.2.3 人行道路面結構組成

面層：6cm 厚C30 透水磚；

2cmM10 水泥砂漿。

基層：5cmC20 細粒式水泥混凝土。

底基層：15cm 石灰土（石灰含量8%重量比）。

總厚度28cm。

人行道灰土底基層壓實度（輕型壓實）逸95%，7d 無側限抗壓強度逸0.6 MPa。

人性道磚、盲道磚的抗壓強度逸CC40，抗折強度逸Cf4.0，防滑等級為R3，相應防滑性能指標BPN逸65。

路緣石及平石抗折強度應達到Cf5.0，曲線路緣石抗壓強度應達到CC35。在1.5m 寬分隔帶內設置樹池與硬化結構相間隔，其中樹池長26m，硬化結構長4m，硬化結構采用透水磚鋪砌，具體結構形式同人行道。

3.2.4 材料要求

瀝青混合料設計空隙率為3~5%，礦料級配要求見表4。

4 無障礙設計

根據《城市道路和建筑物無障礙設計規范》（JGJ50-2001）的有關規定，本次設計對沿線交叉口及單位大門口的出入均進行了無障礙設計，在人行道部分鋪設了導向盲道磚和緣石坡道，并在道路交叉處設置了導向塊、停步塊等處理方式。緣石坡道位置應配合人行道的位置進行設置。

5 路面再生設計具體效果

上邊提到的瀝青路面現場熱再生這種方法具有很多傳統方法無可比擬的優勢，如使路面建造速度大大加快、節約瀝青砂石等材料、廢物利用防止廢棄料對環境的污染等等，而且這種新工藝比傳統的“拆舊建新”具有更高的性能指標。具體性能指標見表5。

綜上，再生路面各檢測指標符合規范要求，路用性能更高。

集成電路工藝設計范文第2篇

關鍵詞：水利工程；電氣一次設計；思路探索

1 引言

隨著我國各項事業的發展，使得我國的能源也面臨著比較大的壓力。而在這種背景下，水利發電站則成為了我們非常好的一項選擇，并在我國得到了較為快速的發展。而在水利工程實際建設的過程中，也需要我們能夠做好電氣一次設計工作，從而能夠在節約投資的基礎上更好的使電站能夠在未來更為高效的運行。

2 電氣主接線設計

2.1 設計原則

對于電力能源的生產來說，其原則就是需要保證生產過程的安全與穩定性。而對于電氣主接線來說，其非常重要的一點就是要保證供電能夠具有一定的穩定性，因為對于電力工作來說，如果在實際運行的過程中出現了停電的情況，那么就會對社會造成非常大的損失。所以我們在對主接線進行判斷時，就需要能夠將發電廠所具有的實際情況進行全面的考慮，而在主接線運行的過程中，如果實際情況需要進行調度，則也可以通過具有針對性的方式對其進行改變，從而更好的完成調度任務。

2.2 發電機出口斷路器配置

在電氣接線設計的方面，也需要對發電機斷路器出口進行良好的配置，并盡可能避免讓變壓器的高壓測線經常性的對單元回路進行運行。而如果實際情況允許，我們也可以在發電機出口位置處去安裝發電機斷路器，從而便于發電機能夠更好的運行。同時，對于斷路器所具有的一個優點就是如果實際情況需要對斷路器的參數進行設置，那么無論是在并網的發電階段還是啟動階段都可以在不需要對電源進行切斷的情況下就能夠保證發電機能夠以一種自由的方式進行調節，從而以更為穩定的方式運行。

2.3 發電機中性點變壓器設計

在電氣主接線方面，其設計的一個重要部分就是發電機變壓器方面的設計，其不但能夠有效的對由于接地電弧對電壓值進行限制，同時其也能夠在發電機出現單項故障時對相關的電流進行限制，從而能夠更好的對設備發電機起到一個全面的保護，并不會造成過電壓的情況出現。而通過計算，在每一個水利工程中所使用的變壓器容量通常為90kVA，而側電壓則為16kV左右，通過這種方式，則能夠較好的使變壓器所能夠覆蓋的范圍進行增大，并且在系統出現故障時也能夠更好的便于我們對其進行調試。

3 廠用電接線設計

如果我們將工程中所使用的變壓器同母線進行連接，那么就更需要對相關的設計方案進行全面的考慮，這是因為如果母線在實際使用的過程中出現故障，那么則需要考慮其中大部分設備能夠繼續的進行工作。而通常來說，水電站中所使用的變壓器通常在10至110kV之間，而如果我們僅僅通過一級電壓進行供電，那么其則可能會由于所具有的容量過小而出現切換的情況。對此，就需要我們能夠通過一定操作保護設備的安裝來對高壓一側進行保護。同時，對于廠用的母線而言，其也是需要以分段的方式進行處理的，而使用的目的就是要以這種方式的操作將廠用的負荷能夠更好的在兩端母線上進行分布，而這也需要我們能夠保證其中的每一段母線都能夠具有相對獨立的電源，從而為實際運行所需要的電能提供保證。而在系統之中，一個備用電源也是非常必要的，通過備用電源的安裝，則能夠在系統獨立電源出現故障時能夠保證工作的不間斷性。最后，在對廠用電開展接線工作時我們也需要考慮如何能夠使供電線路的最短化，從而以此種方式最大程度的對工作所需的導線以及電纜等資源進行節約。

4 電氣設備布置

4.1 主變布置

對于電力設備的布置工作來說，其主要分為兩個方面，即電纜布置的優化工作以及主變平臺的布置工作。而在我們對施工圖進行設計時，也需要能夠根據實際情況來詳細的抉擇，比如是否需要將高壓設備同主變設備設置為相同的高程，從而能夠更好的減少施工所需的工作量，并使工期得到良好的保證。

4.2 電纜布置優化

通常來說，我們在實際布置的工作過程中，如果沒有根據情況設置部分特殊的控制，就有可能使控制電纜會被動力電纜產生一定的干擾。而如果我們想避免這種情況的出現，就需要我們在對電纜進行鋪設時能夠將控制電纜同動力電纜以分離的方式進行鋪設，比如設置兩個不同的豎井，其中一個用于動力電纜的鋪設，而另一個用于控制電纜的鋪設，也是一個非常好的方式。而除此之外，我們也可以將兩者通過一定合理的設計來設置在不同的樓層之中，也能夠起到相互獨立的作用。

4.3 110kV開關站布置的優化

比如對于一個處于河流中游地區的水電站來說，如果其根據發展需要要進行一定的擴建，那么就可以裝上軸流轉漿式的發電機組從而能夠以更為便利的方式對河流水進行適當的調節。而如果發電站需要在開關站方面進行進線間隔的擴建，我們要想在擴建完畢之后不會對電站的接線方式進行改變，則依然需要單母線兼顧旁路的方式對其進行實現。同時，我們也應當能夠使用雙列布置的方式對進線間隔進行一個替代的作用。

4.4 水機自動化

對于水輪發電機組來說，其所應用的是一種兩支點的滾動軸承，其同傳統機組相比少了一個專門對于軸溫進行檢測的部分，同時也根據自動化回路方面的簡化使我們能夠更好的對其進行維護。同時，對于目前的發電機組而言，其也設置了過電壓以及過電流保護，從而更好的保障發電機組的穩定運行。

5 結束語

總的來說，水利工程是我國目前重點開展的一個項目，而電氣一次設計則更是其中非常關鍵的一個環節。在上文中，我們對于水利工程電氣一次設計思路進行了一定的研究，而在我們實際的操作過程中，也需要能夠良好的聯系實際，從而以更具針對性的方式做好水利工程的建設工作。

參考文獻

[1]崔振光，郝彩云.變電站改建過程中的電氣一次設計評析[J].黑龍江科技信息.2014（12）：55-56.

集成電路工藝設計范文第3篇

【關鍵詞】高速公路；機電工程；建設管理；公路養護

近年來，隨著高速公路全方位持續進步，在很大程度上推進了高速公路機電設備方面的發展，并且這些相關的機電設備裝置直接影響著高速公路建設及管控和養護。再者說還充分降低了人員成本及創設了新的工作模式。因此高速公路機電工程建設和管理及其養護一體化方面的研究是一項極為關鍵的工作。

一、高速公路機電工程建設中所存在的問題

1、高速公路機電工程建設設備不統一

高速公路機電工程建設及管理和養護等各方面工作均是需要一系列配套機電設備裝置統一化進行施工，當下國內高速公路施工過程中各類機電設備裝置頗多，并且均是良莠不齊且兼容性約束較大和各大施工企業都是不同的，以至于用在高速公路施工建設過程中的機電設備裝置之間品牌及型號更是差異極大，導致施工期間的設備裝置檢修工作不能有序展開，同時也降低了檢修效果及效率且增多了維護人員工資成本，關鍵是耽擱了施工工期以及維護項目的進行。

2、施工和管理人員之間技術水平相差偏大

國內高速公路施工及管理過程均是各個路段分配于好幾個施工團隊及單位共同展開，各個企業或單位之間分管一個施工路段，不過通常來講各施工團隊及單位或企業間的人員建設及管理水平差異偏大，導致工程進度不相同以致工程質量降低，這也嚴重制約著工程項目正常的竣工驗收。著眼于國內當下的國情來講，中國機電設備裝置發展較晚及沒有整套系統性較強的評價系統及指標，導致機電系統在高速公路中各個方面的使用不能充分統一化，還有就是諸多人員素質較低且對高速公路機電工程建設和管理及養護等方面更是不利，諸多優秀的管理人員通常很難找到較為公正的衡量標準，有些工程建設中很難發現施工及管理方面的各類問題。高水平公路建設通常都是需要專業知識較強及技能較強，在不同的施工團隊里這些專業性技能人員往往技術水平偏低，這也就嚴重制約了高速公路有序運行。

3、正規化管理條款及明確的衡量標準

高速公路建設總是會涉及到各個方面，但是其間人員素質不統一，并且也沒有較為明確的管理條款及衡量標準，這也就導致施工或者是在養護其間出現混亂狀況，再加上公路建設和養護方面并未有定期日常護理對應內容及進程狀況，導致高速公路不管是建設方面或者是管理、養護方面都有著極大的約束，以至于不能有序的進行之后的各項工作。

4、機電工程及各個部門之間的協調性

機電工程各項施工活動及諸多行業息息相關，比如土木及檢測和電器，再加上照明和機械或者是計算機等各種行業，其各類技術涵蓋面非常廣泛，設計方案更是具備極強的系統性。高速公路工程的展開務必要促使各個方面均是協調著共同進行，若是有關部門協調不到位則會出現極度混亂的狀況，出現界面協調諸多不良問題。施工中則機電工程極易和橋隧道預留埋及供配電和房建等相關工程界面出現糾紛。及房建工程工期交叉或者是施工現場重合及界面諸多的問題，因此展開更多的協調工作以便于確保返工及窩工等現象不會出現。

二、高速公路機電工程建設和管理及其養護一體化策略

1、強化機電工程建設管理

高速公路建設中則務必要嚴格規范機電施工管理，緊抓每項工程各個細節標準及規范，促使管理標準化、規范化、有效化。機電工程在施工之前務必要展開各項施工準備工作管理，應該按照相關合同中所核實機電裝置要求及各類安裝材料數量及質量等方面的要求。同時明確該類工程材料審核及檢查，以便于防止未達標的材料混入。并且，嚴格加強機電工程施工中安裝施工管理以及最終的驗收管理，充分強化獎機制管理，不能讓各個項目驗收工作管理成為形式。

2、早期施工準備工作

務必要盡早確定機電工程管理機構和人員，并且組織相關人員進行初步設計文件了解。要強化調研力度，充分掌握設計單位的相關設計內容和工程進度，設計人員應該進入施工現場進行現場指導協助，認真的檢查工程各類界面設計以便確保無縫及無遺漏連接。項目企業應盡早完成機電監理招標工作，并嚴格審核修改各類技術性文件，確保招標文件近似于施工圖方面的水平。

3、協調管理機制及程序

通常機電工程所處界面問題關鍵是依賴于協調方法所展開的工作處理，這是可以分為設計及業主和施工企業與監理這幾個方面。機電工程施工中務必要重視施工企業間所出現的各類糾紛。機電工程關鍵負責人應爭取到項目領導對項目的支持，構建協調管理機制且把工作職責及界面進行合理明確的劃分，以便于落實各項協調工作。

4、構建專項工程團隊

某些極為緊迫的界面問題有時總是不能明確出各自之間的責任，再者就是相關的責任企業由于遇到困難，從而不能按時及按要求完成各項界面工程任務。這時則項目企業務必要分派專項施工團隊進行問題處理，解決界面所出現的各項整改問題以確保機電工程可以依計劃進行。界面的整改項目企業務必要嚴格依據界面處理程序展開。

5、缺陷責任期工作

監理工程人員要定期核查承包方所剩余的各項工程進展計劃，并重視工程視察及對承包商剩余的某些工程計劃提供有效的調節建議。重視已經完工的工程施工核查，并且詳細的記錄工程交付時間以及所存在的各項缺陷，加上證書的交接和簽發等過程所存在的工程缺陷，這時要促使承包方對進行修復。

結束語

總而言之，機電工程建設及管理與養護可謂是高速公路的主要構成，隨著社會的不斷發展，人們對高速公路各個方面要求多發生著極大的改變，以便于確保現代化交通運輸行業的正常運行。機電工程建設和管理及其養護一體化對高速公路建設是一項極為關鍵的工作，因此本文就高速公路機電工程建設和管理及其養護一體化等進行了分析探討，從而推進國內高速公路建設發展及技術水平的提升。

參考文獻

[1]李實永.高速公路機電工程養護質量檢驗評定標準簡介[J].交通標準化，2014（8）.

[2]梁焱坤.對我國高速公路機電工程建設與維護模式的探討[J].科技資訊，2015（2）.

集成電路工藝設計范文第4篇

關鍵詞 應用型人才 集成電路工藝基礎 實驗教學

中圖分類號：G424 文獻標識碼：A DOI：10.16400/ki.kjdkz.2016.01.047

The Research of Experimental Teaching on "Integrated Circuit

Process Foundation" in Independent College

WEN Yi， HU Yunfeng

（University of Electronic Science and Technology of China， Zhongshan Institute， Zhongshan， Guangdong 528402）

Abstract Combining electronic science and technology applied talents training model in independence colleges， the experimental teaching was discussed on the "integrated circuit process foundation" course. The course was composed of simulation multimedia teaching system， basic semiconductor planar process experiment， process simulation software and school-enterprise cooperation. With the author's teaching practice， the enthusiasm of students was trying to effectively mobilized， and the development of students' learning ability and practical ability to train qualified electronic information applied talents was promoted.

Key words applied talents; integrated circuit process foundation; experimental teaching

0 引言

微電子技術和產業在國民經濟中具有舉足輕重的地位。高校的電子科學與技術專業以培養微電子學領域的高層次工程技術人才為目標，學生畢業后能從事電子器件、集成電路和集成系統的設計和制造，以及相關的新技術、新產品、新工藝的研制與開發等方面工作。

“集成電路工藝基礎”是電子科學與技術專業的一門核心課程，講授半導體器件和集成電路制造的單項工藝基本原理和整體工藝流程。本課程是電子科學與技術專業課程體系中的重要環節，也是學生知識結構的必要組成部分。通過本課程的學習，學生應該具備一定工藝分析、設計以及解決工藝問題的能力。

集成電路工藝實驗作為“集成電路工藝基礎”課程的課內實驗，是電子科學與技術專業的專業課教學的重要組成部分，具有實踐性很強、實踐和理論結合緊密的特點。加強工藝實驗教學對于培養高質量的集成電路專業人才十分必要。但是集成電路的制造設備價格昂貴，環境條件要求苛刻，限制了工藝實驗教學在高校的開展。國內僅少數重點大學能夠承受巨大的運營費用，擁有簡化的集成電路工藝線或工藝試驗線供科研、教學使用。而大多數學校只能依靠到研究所或Foundry廠進行參觀式的實習來解決工藝實驗問題，這對于學生實踐能力的培養是遠遠不夠的。

我院電子科學與技術專業成立于2003年，現每屆招收本科生約120人，多年內為珠三角地區培養了大量專業人才。隨著集成電路技術日新月異的發展，對從業人員的要求也不斷升級，所以工藝實驗教學也必須與時俱進。作為獨立學院，如何結合自身實際地進行工藝實驗室建設、采用多種方法手段開展工藝實驗的教學，提高集成電路工藝課程的教學質量，是我們所面臨的緊迫問題。本文以“集成電路工藝基礎”實驗教學實踐為研究對象，針對獨立學院學生理論基礎較為薄弱，動手熱情比較高的特點，就該課程教學內容和教學方式進行了探討。

1 “集成電路工藝基礎”的實驗教學

“集成電路工藝基礎”具有涉及知識面廣，教學內容信息量大，綜合性強，理論與實踐結合緊密的特點，課程教學難度相對較大。同時獨立學院相應配套的實驗教學設備較為缺乏。為了提高學生對該課程的興趣，取得更好的實驗教學效果，讓學生能將理論應用于實踐，具有較強的集成電路生產實踐和設計開發能力，筆者從如下幾方面對實驗教學進行了嘗試。

1.1 工藝模擬多媒體教學系統

運用傳統的教學方法，很難讓學生理解抽象的器件結構和工藝流程并產生興趣。我院購置了清華大學微電子所的集成電路工藝多媒體教學系統，幫助學生對集成電路工藝流程有一個全面生動的認識。該系統提供擴散、氧化和離子注入三項工藝設備的操作模擬，充分利用多媒體技術，將聲光電等多種素材進行合理的處理，做到圖文聲像并茂，力爭使抽象的知識形象化，獲得直觀、豐富、生動的教學效果。該系統涉及大量的集成電路制造實際場景與特殊細節，能較全面地展示Foundry廠的集成電路生產環境和工藝流程。內容豐富、身臨其境的工藝模擬能大大提高學生的學習興趣，幫助學生理解理論知識。

此外，在工藝課程的課堂教學過程中，嘗試利用學生自學討論作為輔助的形式。針對某些章節，老師課前提出問題，安排學生分組準備，自習上網收集最新的與集成電路工藝實驗相關的資料，整理中、英文文獻，制作內容生動的PPT在課堂上演示并展開討論，最后歸納總結。這樣既培養了學生利用網絡進行自學和小組合作作學習的習慣，提高網上查找、整理資料的能力，也為老師的多媒體課件制作提供了素材，豐富了老師的教學內容。

1.2 基礎的半導體平面工藝實驗

學院一直非常重視電子科學與技術專業的建設問題，在實驗室配置方面的資金投入力度比較大。在學院領導的大力支持下，近年來實驗室購置了一批集成電路工藝實驗設備和儀器，如光刻機、涂膠機、氧化反應室、磁控濺射設備、半導體特性測試系統和掃描電子顯微鏡等，為集成電路工藝實驗教學的開展打下了良好的物質基礎 。

在集成電路專業教學中，工藝實驗是非常重要的環節;讓學生進行實際操作，對于培養應用型人才也是非常必要的。通過調研考察兄弟院校的工藝實驗開展情況，結合我院的實際情況和條件，確定了我院電子科學與技術專業的基礎半導體平面工藝實驗項目，如氧化（硅片熱氧化實驗）、擴散（硅片摻雜實驗）、光刻（硅片上選擇刻蝕窗口的實驗）、淀積（PVD、CVD薄膜制備的實驗）等。

這些設備和儀器，除了用于工藝課程實驗教學外，平時還開放給本科生畢業設計、學生創新項目及研究生科研等。通過實際動手操作，使學生能將所學理論知識運用到實際中，既培養了學生的實際操作能力，又引導學生在實踐中掌握分析問題、解決問題的科學方法，加深了對集成電路工藝技術和原理的理解。

1.3 工藝仿真軟件

現代集成電路的發展離不開計算機技術的支持，所以要重視計算機仿真在課程中的作用。TCAD（Technology Computer Aided Design）產品是研究、設計與開發半導體器件和工藝所必需的先進工具。它可以準確地模擬研究所和Foundry廠里的集成電路工藝流程，對由該工藝流程制作出的半導體器件的性能進行仿真，也能設計與仿真太陽能電池、納米器件等新型器件。

利用美國SILVACO公司的TCAD產品，筆者為工藝課程開設了課內仿真實驗，實驗項目包括薄膜電阻、二極管、NMOS等基本器件的設計和工藝流程仿真。通過ATHENA和ATLAS軟件教學，指導學生仿真設計基本的半導體器件，模擬工藝流程，從而鞏固所學理論知識，使學生將工藝和以前學過的半導體器件的內容融合起來。學生在計算機上通過軟件進行仿真實驗，既可以深入研究仿真的工藝流程細節，又可以彌補由于設備條件的制約帶來的某些實驗項目暫時無法開出的不足。

1.4 校企合作

培養應用型人才還必須結合校企合作。珠三角地區是微電子產業的聚集地，企業眾多，行業發展前景好。加強校企聯系，可以做到合作共贏，共同發展。通過組織學生到半導體生產測試企業參觀實習，如深圳方正微電子、珠海南科、中山木林森LED等，讓學生親身體驗半導體企業的生產過程，感受集成電路工廠的生產環境，了解本行業國內外發展的概況，從而彌補課堂教學的不足，激發學生學習熱情，引導學生畢業后從事相關工作。目前，學院與這些半導體生產測試企業建立了良好的合作關系，每屆畢業生都有進入上述企業工作的。他們在工作崗位上表現良好，獲得用人單位的好評，既為企業輸送了合格人才，也為往后學生的職業規劃樹立了榜樣，拓展了學生的就業渠道。

2 結束語

經過筆者幾年來的實踐，在“集成電路工藝基礎”課程的實驗教學中，對教學內容和教學方式進行了改進，形式多樣，互為補充，內容全面、新穎，注重學生實踐技能的培養，對提高學生整體素質起到了積極作用，實現了教學質量的提高。當然，“集成電路工藝基礎”課程的實驗教學還有很大的改進空間，我們還需要在實踐中不斷地改革與探索，將其逐步趨于完善，使其在培養獨立學院應用型人才的過程中發揮巨大的作用。

參考文獻

[1] 王紅航，張華斌，羅仁澤.“微電子工藝基礎”教學的應用能力培養[J].電氣電子教學學報，2009.31（2）.

[2] 王蔚，田麗，付強.微電子工藝課/實驗/生產實習的整合研究[J].中國現代教育裝備，2012.23.

[3] 梁齊，楊明武，劉聲雷.微電子工藝實驗教學模式探索[J].實驗室科學，2008.1.

集成電路工藝設計范文第5篇

集成電路設計公司在招聘版圖設計員工時，除了對員工的個人素質和英語的應用能力等要求之外，大部分是考查專業應用的能力。一般都會對新員工做以下要求：熟悉半導體器件物理、CMOS或BiCMOS、BCD集成電路制造工藝；熟悉集成電路（數字、模擬）設計，了解電路原理，設計關鍵點；熟悉Foundry廠提供的工藝參數、設計規則；掌握主流版圖設計和版圖驗證相關EDA工具；完成手工版圖設計和工藝驗證[1，2]。另外，公司希望合格的版圖設計人員除了懂得IC設計、版圖設計方面的專業知識，還要熟悉Foundry廠的工作流程、制程原理等相關知識[3]。正因為其需要掌握的知識面廣，而國內學校開設這方面專業比較晚，IC版圖設計工程師的人才缺口更為巨大，所以擁有一定工作經驗的設計工程師，就成為各設計公司和獵頭公司爭相角逐的人才[4，5]。

二、針對企業要求的版圖設計教學規劃

1.數字版圖設計。數字集成電路版圖設計是由自動布局布線工具結合版圖驗證工具實現的。自動布局布線工具加載準備好的由verilog程序經過DC綜合后的網表文件與Foundry提供的數字邏輯標準單元版圖庫文件和I/O的庫文件，它包括物理庫、時序庫、時序約束文件。在數字版圖設計時，一是熟練使用自動布局布線工具如Encounter、Astro等，鑒于很少有學校開設這門課程，可以推薦學生自學或是參加專業培訓。二是數字邏輯標準單元版圖庫的設計，可以由Foundry廠提供，也可由公司自定制標準單元版圖庫，因此對于初學者而言設計好標準單元版圖使其符合行業規范至關重要。2.模擬版圖設計。在模擬集成電路設計中，無論是CMOS還是雙極型電路，主要目標并不是芯片的尺寸，而是優化電路的性能，匹配精度、速度和各種功能方面的問題。作為版圖設計者，更關心的是電路的性能，了解電壓和電流以及它們之間的相互關系，應當知道為什么差分對需要匹配，應當知道有關信號流、降低寄生參數、電流密度、器件方位、布線等需要考慮的問題。模擬版圖是在注重電路性能的基礎上去優化尺寸的，面積在某種程度上說仍然是一個問題，但不再是壓倒一切的問題。在模擬電路版圖設計中，性能比尺寸更重要。另外，模擬集成電路版圖設計師作為前端電路設計師的助手，經常需要與前端工程師交流，看是否需要版圖匹配、布線是否合理、導線是否有大電流流過等，這就要求版圖設計師不僅懂工藝而且能看懂模擬電路。3.逆向版圖設計。集成電路逆向設計其實就是芯片反向設計。它是通過對芯片內部電路的提取與分析、整理，實現對芯片技術原理、設計思路、工藝制造、結構機制等方面的深入洞悉。因此，對工藝了解的要求更高。反向設計流程包括電路提取、電路整理、分析仿真驗證、電路調整、版圖提取整理、版圖繪制驗證及后仿真等。設計公司對反向版圖設計的要求較高，版圖設計工作還涵蓋了電路提取與整理，這就要求版圖設計師不僅要深入了解工藝流程；而且還要熟悉模擬電路和數字標準單元電路工作原理。

三、教學實現